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商品の詳細:
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| 制御システム: | PLCタッチスクリーンコントロール | 対象物質: | ウエハ |
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| ランプの種類: | 炭素繊維タイプ | 電源: | 380V/50Hz |
| 厚さの処理: | 3-80mm | コーティング材: | 水性防護コート |
| 装飾: | UVスポット 質感 サンディ効果 | 製品サイズ: | 直径350-420mm |
| ハイライト: | カスタマイズ可能なスピードスピンコーター,マルチステップレシピスピンコーター,高精度シングルステーションスピンコーター |
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| パラメータ | 高精度研究開発モデル | ホットプレート一体型モデル | 大判/量産モデル |
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| 基板サイズ（カスタマイズ可能） | 直径200mmまで/ 四角 | 直径200mmまで | 最大 450 mm / 18" |
| スピン速度範囲（カスタマイズ可能） | 100～12,000rpm | 100～12,000rpm | 最大15,000rpm |
| 速度精度 | ±1rpmまたは±0.5% | ±0.5% | ±0.1%（サーボモーター） |
| 加速範囲（カスタマイズ可能） | 100～10,000rpm/秒 | プログラム可能 | 1～50,000rpm/秒 |
| プログラムステップ（カスタマイズ可能） | 10 プログラム、各 20 ステップ | 1プログラムあたり最大100ステップ | 無制限にカスタマイズ可能 |
| チャックタイプ（カスタマイズ可能） | 真空（アルミ/PTFE/セラミック） | 真空（アルミ） | 真空・メカニカルクランプ |
| ボウル材質（カスタマイズ可能） | PP/PTFE/ステンレス316L | PP/PTFE | ステンレス鋼 |
| ホットプレート温度（オプション） | 該当なし | 周囲温度 - 300℃ | オプション |
| 制御インターフェース | 4.3 インチ LCD / 7 インチ HMI | 7 インチ HMI タッチスクリーン | PLC + HMI / PCベース |
| データのエクスポート | USB（オプション） | USB / イーサネット | USB / イーサネット / Modbus |
| 電源（カスタマイズ可能） | 110/220V、50/60Hz | 110/220V | 220/380V、50/60Hz |
| 代表的な用途 | 半導体、OLED、ペロブスカイト | フォトレジスト+ベーク | 産業用パネル、大型ウエハー |
コンタクトパーソン: Mr. Zhang guoxin
電話番号: +86 13926890692
ファックス: 86-769-88120350
Japanese
