logo
vr
WhatsAPPについて
8618929213528
質 高精度シングルステーションスピンコーター,15,000rpmまでカスタマイズ可能な速度とR&Dラボのためのマルチステップレシピ制御 工場
<
質 高精度シングルステーションスピンコーター,15,000rpmまでカスタマイズ可能な速度とR&Dラボのためのマルチステップレシピ制御 工場
質 高精度シングルステーションスピンコーター,15,000rpmまでカスタマイズ可能な速度とR&Dラボのためのマルチステップレシピ制御 工場
質 高精度シングルステーションスピンコーター,15,000rpmまでカスタマイズ可能な速度とR&Dラボのためのマルチステップレシピ制御 工場
質 高精度シングルステーションスピンコーター,15,000rpmまでカスタマイズ可能な速度とR&Dラボのためのマルチステップレシピ制御 工場
質 高精度シングルステーションスピンコーター,15,000rpmまでカスタマイズ可能な速度とR&Dラボのためのマルチステップレシピ制御 工場
>

高精度シングルステーションスピンコーター,15,000rpmまでカスタマイズ可能な速度とR&Dラボのためのマルチステップレシピ制御

高精度シングルステーションスピンコーター,15,000rpmまでカスタマイズ可能な速度とR&Dラボのためのマルチステップレシピ制御
研究開発ラボ向けの高精度シングルステーションスピンコーター これカスタマイズ可能なシングルステーションスピンコーターは、フォトレジスト、ポリイミド、ゾルゲル、ナノ粒子、その他の機能性コーティングを基板上に均一に薄膜蒸着するように設計されています。で利用可能高精度の研究開発、一体型ホットプレート、 そして大判構成。 システムは完全にカスタマイズ可能スピン速度範囲、基板サイズ、チャックタイプ、ボウル材質、自動化レベルなど。スピン コーティングでは、遠心力を利用して液体コーティングを基板全体に均一に広げ、厚さの膜厚を実現します。ナノメートルから数ミクロンまで優れた均一性を備えています。 主な利点は次...
原産地:中国
ブランド名:OSMANUV
認証:ISO9001
モデル番号:オスマヌフ
最低注文数量:1セット
価格:交渉可能
製品カスタム属性
ハイライト

カスタマイズ可能なスピードスピンコーター

,

マルチステップレシピスピンコーター

,

高精度シングルステーションスピンコーター

制御システム:
PLCタッチスクリーンコントロール
対象物質:
ウエハ
ランプの種類:
炭素繊維タイプ
電源:
380V/50Hz
厚さの処理:
3-80mm
コーティング材:
水性防護コート
装飾:
UVスポット 質感 サンディ効果
製品サイズ:
直径350-420mm
製品説明
研究開発ラボ向けの高精度シングルステーションスピンコーター
これカスタマイズ可能なシングルステーションスピンコーターは、フォトレジスト、ポリイミド、ゾルゲル、ナノ粒子、その他の機能性コーティングを基板上に均一に薄膜蒸着するように設計されています。で利用可能高精度の研究開発、一体型ホットプレート、 そして大判構成。
システムは完全にカスタマイズ可能スピン速度範囲、基板サイズ、チャックタイプ、ボウル材質、自動化レベルなど。スピン コーティングでは、遠心力を利用して液体コーティングを基板全体に均一に広げ、厚さの膜厚を実現します。ナノメートルから数ミクロンまで優れた均一性を備えています。
主な利点は次のとおりです。優れた速度安定性 (< ±1% 変動)、低振動運転、そして耐薬品性プロセスボウル(PP、PTFE、またはステンレス鋼 316L で入手可能)。コンパクトなベンチトップ設計は、研究室、パイロット ライン、および小規模バッチ生産環境に最適です。モジュール式アーキテクチャは、複数のディスペンス ノズル、窒素パージ、現場加熱モジュールなどの将来のアップグレードをサポートします。
技術仕様
パラメータ 高精度研究開発モデル ホットプレート一体型モデル 大判/量産モデル
基板サイズ（カスタマイズ可能） 直径200mmまで/ 四角 直径200mmまで 最大 450 mm / 18"
スピン速度範囲（カスタマイズ可能） 100～12,000rpm 100～12,000rpm 最大15,000rpm
速度精度 ±1rpmまたは±0.5% ±0.5% ±0.1%（サーボモーター）
加速範囲（カスタマイズ可能） 100～10,000rpm/秒 プログラム可能 1～50,000rpm/秒
プログラムステップ（カスタマイズ可能） 10 プログラム、各 20 ステップ 1プログラムあたり最大100ステップ 無制限にカスタマイズ可能
チャックタイプ（カスタマイズ可能） 真空（アルミ/PTFE/セラミック） 真空（アルミ） 真空・メカニカルクランプ
ボウル材質（カスタマイズ可能） PP/PTFE/ステンレス316L PP/PTFE ステンレス鋼
ホットプレート温度（オプション） 該当なし 周囲温度 - 300℃ オプション
制御インターフェース 4.3 インチ LCD / 7 インチ HMI 7 インチ HMI タッチスクリーン PLC + HMI / PCベース
データのエクスポート USB（オプション） USB / イーサネット USB / イーサネット / Modbus
電源（カスタマイズ可能） 110/220V、50/60Hz 110/220V 220/380V、50/60Hz
代表的な用途 半導体、OLED、ペロブスカイト フォトレジスト+ベーク 産業用パネル、大型ウエハー
アプリケーション
  • 半導体とMEMS：フォトレジストコーティング、電子ビームリソグラフィー、スピンオングラス（SOG）
  • オプトエレクトロニクス：OLED、量子ドット薄膜、反射防止膜
  • 材料科学：ゾルゲル蒸着、ナノ粒子フィルム、ポリマーコーティング
  • バイオテクノロジー: バイオセンサー作製、マイクロ流体デバイスコーティング
  • 再生可能エネルギー：ペロブスカイト太陽電池、薄膜太陽電池
  • 光学産業：レンズハードコーティング（UV硬化オプションあり）
主な特長
  • 高精度なスピンコントロール: ±0.5%の速度精度とプログラム可能な加速度を備えた高トルクブラシレスモーターにより、再現性のある均一なコーティングが保証されます。
  • 研究開発に重点を置いた設計: 体系的なプロセス開発のための複数ステップのレシピプログラミングとデータロギング機能
  • 多用途の治具: カスタマイズ可能なチャックと固定具は、複雑な形状や壊れやすい基板をしっかりと保持します
  • 耐薬品性構造: 強力な溶剤用の PTFE、PP、またはステンレス鋼のボウル
  • ユーザーフレンドリーなインターフェース: 最適化されたパラメーターを素早く呼び出すためのレシピストレージを備えた直感的なタッチスクリーン HMI
  • コンパクトな設置面積: ベンチトップ設計により、貴重な研究室または生産フロアのスペースを節約できます。
  • 安全インターロック：運転中に蓋を開けると自動停止
  • データのトレーサビリティ: レシピ保存、リアルタイムモニタリング、USB/イーサネットエクスポート
カスタマイズオプション
このシングルステーションスピンコーターは、高度にカスタマイズ可能特定のアプリケーション要件を満たすには:
  • スピン速度範囲：50rpmから15,000rpmまで -カスタマイズ可能な
  • チャックのデザインとサイズ: 円形 (最大 450 mm)、正方形、長方形、または不規則な基板に対応するカスタム加工の真空チャック -完全にカスタマイズ可能
  • ボウル材質：ポリプロピレン(PP)、PTFE、ステンレス316L -カスタマイズ可能な耐溶剤性用
  • 治具の種類: 真空チャック、メカニカルクランプ、またはカスタム 3D プリントホルダー -カスタマイズ可能な
  • ディスペンスシステム：手動シリンジ / 自動シリンジポンプ / 電磁弁 / マルチノズルアレイ -カスタマイズ可能な
  • 暖房の統合: オプションの現場 IR ヒーターまたは最大 300°C のホットプレート -カスタマイズ可能な
  • 環境管理：不活性ガスパージ（N₂）、湿度制御、グローブボックス一体化 -カスタマイズ可能な
  • ソフトウェア：レシピ管理、データロギング、USB/Ethernetエクスポート -カスタマイズ可能な
  • 自動化レベル: 自動ディスペンスとサイクル制御を備えた完全手動から半自動 -カスタマイズ可能な
  • 安全性: 連動エンクロージャ、緊急停止、流出封じ込め -カスタマイズ可能な
サポートとサービス
  • 無料のプロセスコンサルティングと材料テスト - 基板をお送りください
  • カスタム治具の設計およびエンジニアリング サービス
  • オンサイトでの設置と試運転 (カスタマイズ可能なサポートパッケージ)
  • オペレータートレーニングプログラムが含まれています
  • ビデオ通話による 24 時間以内のリモート トラブルシューティング
  • モーターとコントローラーは 18 か月、付属品は 12 か月保証
  • 地域の倉庫 (米国/EU/アジア) からスペアパーツを入手可能
  • 電話、電子メール、チャットによる無期限のテクニカル サポート
梱包と発送
  • パッキング: 帯電防止フォーム + 強化木製ケース (湿気に弱いコンポーネント用の乾燥剤付き)
  • 標準モデルのリードタイム: 注文確認後15-25日
  • カスタム構成のリードタイム: 30 ～ 45 日 (カスタム チャックまたはボウルの場合はさらに長くなります)
  • 配送: FOB 上海 / CIF 海、空、鉄道
  • カスタマイズ可能: 輸出クレート、カスタムラベル、宛先ポートのドキュメント
よくある質問
Q1: このスピンコーターが処理できる基板の最大サイズはどれくらいですか?
A: 標準の R&D モデルは、直径 150 ～ 200 mm (6 ～ 8 インチ) までのウェーハを処理します。大判アプリケーション向けに、カスタマイズ可能なチャックアップ450mm (18インチ)基板。最大150×150mmまでの角型基板にも対応します。
Q2: このスピンコーターは円形以外の基板にも使用できますか?
A: はい。私たちは提供しますカスタマイズ可能な正方形、長方形、および不規則な形状の基板用の真空チャックおよび機械的治具。特定の製品形状に合わせてカスタム チャックを 3D プリントすることもできます。カスタム治具設計の場合は、基板の寸法を提供してください。
Q3: 一般的なコーティング厚さの均一性はどれくらいですか?
A: 適切なプロセスの最適化により、厚さの均一性は達成できます。< ±1%基板全体にわたって。結果は、材料の粘度、スピンパラメータ、および基板の形状によって異なります。お客様の特定のアプリケーションを確認するために、無料のラボテストを提供しています。
関連製品