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商品の詳細:
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| コーティングの安全性: | 高い安全性 | ランプの種類: | 炭素繊維タイプ |
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| ドリブンタイプ: | 電動、手動 | 生産ライン: | 生産ライン |
| タイプ: | スピンコーティングライン | 圧縮空気: | 6kgのガス源を自前で用意 |
| バーナー: | オリジナルのリエロバーナー,2個セット | 噴霧室の寸法: | 400 × 400 × 500 mm |
| ハイライト: | カスタマイズ可能な速度を備えたデュアルステーションスピンコーター,独立した制御を備えた高スループットスピンコーター,10 |
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これは調節可能な二ステーションスピンコーター高出力,効率性,およびプロセスの繰り返し性を要求する研究室および生産施設のために設計された高性能コーティングシステムです.研究,工業生産そしてクリーンルーム対応設定する
システムとは完全にカスタマイズできるチャックサイズ,回転速度範囲,プログラムステップ数,配給方法2つの独立したステーションは,同時にまたは交互に動作することを可能にします.各ステーションは独立してプログラム可能な制御装置で動作します異なった材料や基質を交差汚染なく最適化された条件で覆うことができる.
スピンコーティングは均質な薄膜を製造するための好ましい方法であり,低コストで効果的な方法で堆積プロセスを正確に制御できます.このシステムは光抵抗性コーティングに最適です半導体,MEMS,光学,印刷電子機器産業におけるバリア層アプリケーション.
| パラメータ | 研究とパイロットモデル | 産業生産モデル | クリーンルーム/グローブボックスモデル |
|---|---|---|---|
| 駅数 | 2 独立 | 2個独立 (最大4個まで調整可能) | 2 独立 |
| 回転速度範囲 (カスタマイズ可能) | 300〜1万回転/分 | 100~3000rpm (15,000までカスタマイズ可能) | 500〜8,000回転/分 |
| 速度精度 | ±1回転/分 | ± 1 rpm (サーボ) | ±3% |
| 速度制御 | プログラム可能な多段階 | プログラム可能な多段階 | PID 制御 |
| 基板のサイズ (カスタマイズ可能) | 駅あたり最大200mm (8") | 450mm (18") まで - 調整可能 | 駅あたり最大200mm (8") |
| プログラム可能な段階 | 駅あたり最大10歩 | レシピ (無制限) | 駅ごとに5ステップ |
| バキュームシステム | 独立ポンプ 各駅 | 独立した高流量ポンプ | 共有+電磁弁 |
| 配送システム (カスタマイズ可能) | 手動用注射器/ノズル | セルボ駆動自動ドージング | 半自動計量ポンプ |
| 制御インターフェース | 7インチタッチスクリーン | PLC + HMI データログング | PLC + HMI タッチスクリーン |
| 収納材 | ステンレス鋼/PTFE | 耐化学性コーティング | ステンレス鋼 + 耐腐蝕性 |
| 電源 (カスタマイズ可能) | AC 110/220V 50/60Hz | AC 380V,50/60Hz (カスタマイズ可能) | AC 220V 50/60Hz |
| サイズ | ~700×400×300ミリ | カスタマイズ可能 | 650×750×1620mm |
| 体重 | ~28kg | カスタマイズ可能 | ~120kg |
この2つのステーションのスピンコーターは高度にカスタマイズ可能特定のアプリケーション要件を満たすために:
コンタクトパーソン: Mr. Zhang guoxin
電話番号: +86 13926890692
ファックス: 86-769-88120350
Japanese
