コンパクト ベンチトップ スピンコーター ノン真空チャック 脆弱または薄い基板 (0.2mm厚さ) 向けにカスタマイズ可能
コンパクト ベンチトップ スピンコーター ノン真空チャック 脆弱または薄い基板 (0.2mm厚さ) 向けにカスタマイズ可能
コンパクト ベンチトップ スピンコーター ノン真空チャック 脆弱または薄い基板 (0.2mm厚さ) 向けにカスタマイズ可能 製品概要 これは調整可能な単ステーションのスピンコーター光抵抗剤,ポリマイド,ソルゲル,ナノ粒子,その他の機能性コーティングを基板に均質な薄膜堆積するように設計されています.高精度の研究開発,コンパクトのベンチトップそして大型設定する システムとは完全にカスタマイズできるスピン速度範囲,基板の大きさ,チャックタイプ,ボウル材料,自動化レベル.スピンコーティングは,液体コーティングを基板に均等に拡散するために遠心力を使用します.フィルム厚さを1から50ミクロン均一性最大で± ...
原産地:中国
ブランド名:OSMANUV
認証:ISO9001
モデル番号:オスマヌフ
最低注文数量:1セット
価格:交渉可能
製品カスタム属性
ハイライト
コンパクトのベンチトップスピンコーター
,スピンコーター
,非真空チャック
給餌方法:
下側 選択可能
生産能力:
モデルによって異なりますが、通常は 1 分あたり 100 ~ 500 個
消費電力:
約5~15kW
駅:
24ステーション
生産効率:
48 ボウルまたはプレート / min
自動化レベル:
半自動から全自動まで
コーティング費用:
低コスト
パッキング:
標準的な木製ケース
製品説明
コンパクト ベンチトップ スピンコーター ノン真空チャック 脆弱または薄い基板 (0.2mm厚さ) 向けにカスタマイズ可能
製品概要
これは調整可能な単ステーションのスピンコーター光抵抗剤,ポリマイド,ソルゲル,ナノ粒子,その他の機能性コーティングを基板に均質な薄膜堆積するように設計されています.高精度の研究開発,コンパクトのベンチトップそして大型設定する
システムとは完全にカスタマイズできるスピン速度範囲,基板の大きさ,チャックタイプ,ボウル材料,自動化レベル.スピンコーティングは,液体コーティングを基板に均等に拡散するために遠心力を使用します.フィルム厚さを1から50ミクロン均一性最大で± 1%.
主要な利点は特殊な速度安定性(< ± 1% の変動)低振動操作, そして化学物質に耐えるプロセスボウル. コンパクトなデザインは,研究室,パイロットライン,および小批量生産環境に理想的です. モジュール構造は,複数の配給ノズルを含む将来のアップグレードをサポートします.窒素浄化内部暖房モジュール
テクニカル仕様
| パラメータ | 高精度の研究開発モデル | コンパクトベンチトップモデル | 大型モデル |
|---|---|---|---|
| 基板のサイズ (カスタマイズ可能) | 直径150mmまで | 5 - 120 mm 縦径 | 450mm / 18"まで |
| 回転速度範囲 (カスタマイズ可能) | 100〜12,000回転/分 | 50〜1万回転/分 | 1万5千回/分まで |
| 速度精度 | 設定値の ±0.5% | ±1回転/分 | ± 1 rpm (サーボ) |
| 加速 (カスタマイズ可能) | 100〜1万回転/秒 | プログラム可能なランプ速度 | 最大3万回転/秒 |
| プログラムステップ (カスタマイズ可能) | レシピごとに20以上のステップ | 10つのプログラム,それぞれ20ステップ | 200のレシピで それぞれ40ステップ |
| チャックタイプ (カスタマイズ可能) | バキュム (アルミ/PTFE) | 非真空 / 真空 | バキュム/機械式クランプ |
| ボウル材料 (カスタマイズ可能) | PTFE / PP / ステンレス鋼 316L | PP/PTFEで覆い | ステンレス鋼 |
| コーティング粘度範囲 | 2千cPまで | 1000cPまで | カスタマイズ可能 |
| 制御インターフェース | 7インチHMIタッチスクリーン | 4.3" LCD | タッチスクリーン + PLC |
| データ輸出 | USB / イーサネット | USB | USB / イーサネット / モッドバス |
| 電源 | 110/220V,50/60Hz | 110/220V,50/60Hz | 220/380V 50/60Hz |
| 典型的な用途 | 半導体,OLED,ペロビサイト | 一般研究開発,教育 | 産業用パイロット,大型パネル |
申請
- 半導体とMEMS: 光耐性,ARC,ウエフルのポリアミドコーティング
- 光電子機器OLED,量子ドット,ペロビスキット太陽電池
- 材料科学ソーラージェル,スピンオンガラス (SOG),ナノ粒子のフィルム
- バイオテクノロジーバイオセンサ,マイクロ流体,ポリマーフィルム
- 研究開発と学術界: プロセス開発,式最適化,教育ラボ
- 特殊パッケージ: 鋳造されたパルス製品 (例えば,食事用箱,カップ,トレイ) の壁面コーティング
カスタマイズオプション
この単ステーションのスピンコーターは高度にカスタマイズ可能特定のアプリケーション要件を満たすために:
- チャック設計とサイズ: 円形 (最大450mm),四角形,四角形,または不規則な基板のための真空回転機
- 回転速度範囲: 拡張可能 50 rpm から 15,000 rpm まで
- 加速プロファイル: エッジ・ビーズ制御のためのカスタマイズ可能なランプ速度
- ボウル材料ポリプロピレン (PP),PTFE,ステンレス鋼 316L -カスタマイズできる溶剤耐性
- 固定装置の種類: 真空チャック,機械クランプ,または複雑な幾何学のための3Dプリントされたオーダーメイドホルダー
- 配給システム: 手動用注射器 / 自動注射器ポンプ / 電磁弁 / 多ノズル配列カスタマイズできる
- 環境管理: 惰性ガス浄化 (N2),湿度制御,溶媒蒸気ホップ
- 乾燥統合: オンサイトIRヒーター,熱気吹風機,UV硬化ランプのオプション
- ソフトウェア: レシピ管理,データログ,USB/イーサネット輸出,Modbus統合
- 自動化レベル: 完全手動式から半自動式まで,自動配給とサイクル制御
- 安全性: 相互にロックされた囲み,緊急停止,溢れ止め
主要 な 特徴
- 高精度スピン制御: ±0.5%の速度精度とプログラム可能な加速で高トルクブラシレスモーターは,繰り返し,均質なコーティングを確保します
- 研究開発を中心とした設計: システム的なプロセス開発のための複数のステップのレシピプログラミングとデータログング機能
- 汎用的な固定装置: パーソナライズ可能なチャックと固定装置は,複雑な3D形や脆弱な基質を安全に保持します
- 材料廃棄物の最小限: 高価 な 材料 や 実験 用 の 塗装 材料 に は 精密 な 細かい 量 の 配送 が 理想 的 です
- ユーザーフレンドリーなインターフェース: インテュイティブタッチスクリーンHMIとレシピストレージで,最適化されたパラメータを迅速にリコール
- コンパクトな足跡: ベンチトップデザインは,貴重な研究室や生産フロアスペースを節約します
- 化学耐性構造物: PTFE,PP,または無垢鋼の,攻撃的な溶媒のためのボウル
- セキュリティ・インターロック: 動作中に蓋を開けると自動停止
- 簡単に清掃できる:取り外せる流体経路部品と滑らかな室面
- データの追跡可能性: レシピ保存,リアルタイムモニタリング,USB/Ethernet輸出
サポートとサービス
- 無料のプロセスコンサルティングと材料試験 (基材を送信してください)
- オーダーメイドの灯具設計とエンジニアリングサービス
- 設置ガイドと校正ビデオが含まれています.
- 24時間以内に遠隔トラブルシューティング
- モーターとコントローラに18ヶ月保証,アクセサリーに12ヶ月保証
- 地域倉庫からのスペアパーツの入手可能性 (米国/EU/アジア)
- 施設内での訓練 (利用可能)カスタマイズできる支援パッケージ)
- 電話,メール,チャット で 終身 の 技術 サポート
梱包 と 輸送
- 梱包: 反静的泡 + 強化された複合板/木製ケース (湿度感のある部品のための乾燥剤を含む)
- 標準モデルのリードタイム: 注文確認後15-25日
- カスタム設定のリードタイム: 30-45日 (カスタムチャックやボウルでは長くなります)
- 船舶:FOB上海/CIF 海上,航空,鉄道
- カスタマイズ可能: 輸出箱,カスタムラベル,目的港の文書
よく 聞かれる 質問
Q1:このスピンコーティングが処理できる 最大の基板サイズは?
A: 標準的なR&Dモデルは,直径150mm (6") までのウエファーに対応します.カスタマイズできる450mm (18") の基板までチャック. 150×150mm の平方基板もサポートされています.
Q2: このスピンコータを,丸でない基板 (例えば,長方形または不規則な形) に使用できますか?
A: そうですカスタマイズできる立方形,長方形,不規則な形状の基板のための真空チャックと機械的な固定装置. 固定装置のカスタム設計のために,あなたの基板の寸法と幾何学を提供してください.