R&Dラボのためのシングルステーションスピンコーター 12000rpmまでカスタマイズ可能な速度を持つコンパクトベンチトップデザイン
R&Dラボのためのシングルステーションスピンコーター 12000rpmまでカスタマイズ可能な速度を持つコンパクトベンチトップデザイン
R&Dラボのためのシングルステーションスピンコーター 12000rpmまでカスタマイズ可能な速度を持つコンパクトベンチトップデザイン これは調整可能な単ステーションのスピンコーターシリコン・ウェーバー,ガラス・スライド,ポリマー・フィルムなどの基板に精密な薄膜堆積を目的として設計されています.ベンチトップ R&D,インテグレートホットプレートそして高速精度システムには完全にカスタマイズできるチャックサイズ,回転速度範囲,加速ランププロファイル,ボウル材料.光抵抗性コーティング,ソルゲル堆積,ナノ粒子フィルムに最適研究室や試作生産ラインにおけるペロビサイト太陽電池の製造コンパクトな設計により,貴...
Place of Origin:中国
Brand Name:OSMANUV
Certification:ISO9001
Model Number:仕様
Minimum Order Quantity:1セット
Price:交渉可能
Product Custom Attributes
ハイライト
コンパクトのベンチトップスピンコーター 単一ステーションのスピンコーター ラボのためのスピンコーター 速度をカスタマイズできるスピンコーター
,single station spin coater for labs
,spin coater with customizable speed
アプリケーションタイプ:
産業用
機械のサイズ:
5000mm*2000mm*2000mm
最高速度:
1000枚/h
コーティング効率:
高効率
制御インターフェース:
7インチナイロンタッチスクリーン
乾燥長:
24 m
駅:
24ステーション
機械の寸法:
長さ3000mm×幅1500mm×高さ1800mm
Product Description
R&Dラボのためのシングルステーションスピンコーター 12000rpmまでカスタマイズ可能な速度を持つコンパクトベンチトップデザイン
これは調整可能な単ステーションのスピンコーターシリコン・ウェーバー,ガラス・スライド,ポリマー・フィルムなどの基板に精密な薄膜堆積を目的として設計されています.ベンチトップ R&D,インテグレートホットプレートそして高速精度システムには完全にカスタマイズできるチャックサイズ,回転速度範囲,加速ランププロファイル,ボウル材料.光抵抗性コーティング,ソルゲル堆積,ナノ粒子フィルムに最適研究室や試作生産ラインにおけるペロビサイト太陽電池の製造コンパクトな設計により,貴重なベンチスペースを節約し,例外的な速度安定性 (< ± 1%の変動) と低振動操作を提供します.
テクニカルパラメータ
| パラメータ | ベンチトップ研究開発モデル | 統合型ホットプレートモデル | 高速精密モデル |
|---|---|---|---|
| 回転速度範囲 (カスタマイズ可能) | 100〜12,000回転/分 | 300〜1万回転/分 | 500〜15,000回転/分 |
| 速度精度 | ±1回転/分 | ±1回転/分 | ±0.5rpm (サーボモーター) |
| 速度制御 | 100〜1万回転/秒 | プログラム可能な多段階 | 1〜5万回転/秒 |
| 基板のサイズ (カスタマイズ可能) | 150 mm (6") まで | 200mm (8") まで | 200mm (8") まで |
| 温度範囲 (オプション) | N/A | 環境 - 300°C | N/A (オプションの暖房カバー) |
| 温度精度 | N/A | ±1°C | N/A |
| プログラムステップ | 10つのプログラム,それぞれ20ステップ | 50種類まで | 無制限プログラム可能 |
| バキュームシステム | インテグレートポンプインターフェース | 統合チャック+ポンプ | < 10−4 トール (ターボオプション) |
| ボウル材料 (カスタマイズ可能) | ポリプロピレン (PP) | ステンレス鋼,PTFEコーティング | PTFE/ステンレス鋼 316L |
| ディスプレイ | 4.3" LCD | 7インチ色タッチスクリーン | 7インチHMIタッチスクリーン |
| 排気口 | Ø50 mm 後方 | Ø110 mm | Ø110 mm (デュアルポートオプション) |
| 電源 | 110/220V,50/60Hz | 220V 50/60Hz | 220V/380V 50/60Hz |
| 尺寸 (約) | 350 × 300 × 250 mm | 450 × 350 × 250 mm | 600 × 500 × 400 mm |
| 体重 | ~15kg | ~22kg | ~35kg |
申請
- 半導体とMEMS: シリコンウエフルの光耐性コーティング,電子ビームリトグラフィー
- 光電子機器OLED,量子点薄膜,反射性コーティング
- 材料科学ソーレジェル堆積物,スピンオンガラス (SOG),ナノ粒子のフィルム
- バイオテクノロジーバイオセンサ製造,マイクロ流体装置のコーティング
- 再生可能エネルギー薄膜太陽電池
- オプティカル産業: レンズのハードコーティング (UV固化オプション)
カスタマイズオプション
- チャック設計とサイズ: 丸い (最大12"/300mm) または四角形/長方形基板のための,カスタム加工の真空チャック
- 回転速度範囲: 超薄膜 (厚さ<10nm) のアプリケーションのために,15,000rpmまで拡張可能
- スピードランププロファイル: エッジ・ビーズ制御のための調整可能な加速/減速曲線
- ボウル材料ポリプロピレン (PP),PTFE,不?? 鋼316L - 溶剤耐性のためにカスタマイズ可能
- 温度統合:内蔵熱プレート (300°Cまで) または外れる加熱カバー (150°Cまで)
- 配給システム: 手動注射器,半自動計量ポンプ,または完全にプログラム可能な自動配給
- 排気ガス配置: 後ろ / 左 / 右 / ダブルポート - 調整可能
- エンジンの種類: ブラシのない直流モーターまたは高精度サーボモーター
- ソフトウェア: レシピ管理,リアルタイム速度曲線表示,CSVデータ輸出
- クリーンルーム互換性: クラス 10-100,000 層流量オプション
- セキュリティ機能: 蓋のロック,緊急停止,窒素浄化
主要 な 特徴
- 高精度: 速度安定性 < ± 1% 均質なフィルム厚さの変動
- 低振動設計: 敏感な基板加工のためのブラシレスDCモーターまたはサーボモーター
- 耐性のある鉢: 攻撃的な溶剤のための不oxidable鋼またはPTFEコーティング
- プログラム可能なレシピ: 複雑な塗装プロセスのための多段階の速度と加速プロファイル
- スピードチェンジチャック: 異なる基板サイズのためのツールフリーチャック交換
- 安全鍵: 動作中に蓋を開けると自動停止
- データ輸出: レシピのバックアップとプロセスデータのログインのためのUSBポート
- コンパクトな足跡: ベンチトップ 設計により,貴重な研究室スペースが節約されます
- 二重利用可能: 調理前と調理後の統合のためのオプションのホットプレート
サポートとサービス
- 無料のプロセスコンサルティングと材料試験 (基材を送信してください)
- 設置ガイドと校正ビデオが含まれています.
- 24時間以内に遠隔トラブルシューティング
- モーターとコントローラに18ヶ月保証,アクセサリーに12ヶ月保証
- 地元倉庫からの部品の入手可能性 (米国/EU/アジア)
- 現場訓練 (カスタマイズ可能なサポートパッケージで利用可能)
- メール,電話,またはビデオコールによる終身技術サポート
梱包 と 輸送
梱包: 反静的泡 + 強化された複合板ケース (湿度感のある部品のための乾燥剤)
尺寸 (標準)55×45×45cmの紙箱です 総重量は22kgです
船舶:FOB上海/CIF 海上,航空,鉄道
リードタイム: 標準ユニットでは7~15日,カスタマイゼーションの確認後20~30日 (カスタマイズされたチャック/ボウルには時間がかかります)
カスタマイズ可能: 輸出用パッケージ,ドロップシッピング用ラベル,文書が利用可能
よく 聞かれる 質問
Q1:このスピンコーティングが処理できる 最大の基板サイズは?
A: 標準モデルでは,直径150mm (6") または200mm (8") まで対応します. 300mm (12") までの大きな基板または9"×9"のスクエアでは,カスタマイズできるチャック・デザイン
Q2: このスピンコーティングを,丸でない基板 (例えば,四角形ガラススライド) に使用できますか?
A: そうですカスタマイズできる方形,長方形,不規則な形状の基板のための真空チャック.カスタム加工のために基板の寸法をお願いします.
Q3: 典型的なフィルム厚さの均一性は?
A: 適切なプロセス最適化により,厚さの均一性は150mmのウエファー全体で<3%に達することができます.結果は材料の粘度とスピンパラメータによって異なります - 確認のために無料の実験室検査を提供しています.