|
|
商品の詳細:
|
| 厚さを切り開くこと: | 2g/pcs~8g/pcs | モデル: | OSM-XT-2400T |
|---|---|---|---|
| マシンタイプ: | コーティング機 | 色: | カスタマイズされた |
| 作業厚: | 3-80mm | ライト: | 赤外線IRチューブ |
| 制御システム: | タッチスクリーン付きPLC制御 | 機械試験報告書: | 提供された |
| ハイライト: | 工業用二頭スピンコーティングシステム,カスタマイズ可能なチャックスピンコーター,自動配送パルプ鋳造機 |
||
これは調節可能な二ステーションスピンコーターシリコン・ウェーバー,ガラス,ポリマー・フィルムなどの基板に高出力薄膜堆積のために設計されています.研究,クリーンルームそして工業生産システムには完全にカスタマイズできるチャックサイズ,回転速度範囲,プログラムステップ数,配給方法2つの独立したステーションは,同時にまたは交互に動作することを可能にします.半導体,MEMS,光学,印刷電子産業における光抵抗性コーティング,ソルゲル堆積,バリア層アプリケーションに最適です.
| パラメータ | 高速研究モデル | クリーンルーム統合モデル | 産業生産モデル |
|---|---|---|---|
| 駅数 | 2 独立 | 2 独立 | 2個独立 (または最大4個までカスタマイズ可能) |
| 回転速度範囲 | 300〜1万回転/分 | 500〜8,000回転/分 | 100~3000rpm (15,000までカスタマイズ可能) |
| 速度精度 | ±1回転/分 | ±3% | ± 1 rpm (サーボ) |
| 速度制御 | プログラム可能な多段階 | PID 制御 | プログラム可能な多段階 |
| 基板のサイズ (カスタマイズ可能) | 駅あたり最大200mm (8") | 駅あたり最大300mm (12") | 450mm (18") まで - 調整可能 |
| プログラム可能な段階 | 駅ごとに10歩 | 駅ごとに5ステップ | レシピ (無制限) |
| バキュームシステム | 独立ポンプ 各駅 | 共有+電磁弁 | 独立した高流量ポンプ |
| 清潔度レベル (オプション) | N/A | クラス100 (Fed Std. 209E) | クラス1000 または パーソナライズ可能 |
| 収納材 | ステンレス鋼/PTFE | ステンレス鋼 + 耐腐蝕性 | 耐化学性コーティング |
| 配給システム | 手動用注射器/ノズル | 半自動計量ポンプ | セルボ駆動自動ドージング |
| インターフェース | 7インチタッチスクリーン | 双触覚画面 | PLC + HMI データログング |
| 電源 | AC 110/220V 50/60Hz | AC 220V 50/60Hz | AC 380V,50/60Hz (カスタマイズ可能) |
| サイズ | ~700×400×300ミリ | 650×750×1620mm | カスタマイズ可能 |
| 体重 | ~28kg | ~120kg | カスタマイズ可能 |
この2つのステーションのスピンコーターは高度にカスタマイズ可能特定のアプリケーション要件を満たすために:
A: 双局機は,制御システムと足跡を1つ共有し,一方では,操作者が1つの局をロード/デロードし,もう1つはコーティングを行っています.投資総額が減る実験室のスペースが小さく 処理能力も高まります
A: そうです.各ステーションには 独立してプログラム可能な制御装置があり, 交差汚染をなくして 異なる材料や基板のサイズを 同時にコーティングできます.
A:チャックはカスタマイズできる丸いウエファー (2"~12") の標準チャックとオーダーメイド加工されたチャック方形,長方形,または不規則な基板の場合は
コンタクトパーソン: Mr. Zhang guoxin
電話番号: +86 13926890692
ファックス: 86-769-88120350
Japanese
