工業用二重頭スピンコーティングシステム 高流量生産 調整可能なチャック設計と自動配給
工業用二頭スピンコーティングシステム
,カスタマイズ可能なチャックスピンコーター
,自動配送パルプ鋳造機
これは調節可能な二ステーションスピンコーターシリコン・ウェーバー,ガラス,ポリマー・フィルムなどの基板に高出力薄膜堆積のために設計されています.研究,クリーンルームそして工業生産システムには完全にカスタマイズできるチャックサイズ,回転速度範囲,プログラムステップ数,配給方法2つの独立したステーションは,同時にまたは交互に動作することを可能にします.半導体,MEMS,光学,印刷電子産業における光抵抗性コーティング,ソルゲル堆積,バリア層アプリケーションに最適です.
| パラメータ | 高速研究モデル | クリーンルーム統合モデル | 産業生産モデル |
|---|---|---|---|
| 駅数 | 2 独立 | 2 独立 | 2個独立 (または最大4個までカスタマイズ可能) |
| 回転速度範囲 | 300〜1万回転/分 | 500〜8,000回転/分 | 100~3000rpm (15,000までカスタマイズ可能) |
| 速度精度 | ±1回転/分 | ±3% | ± 1 rpm (サーボ) |
| 速度制御 | プログラム可能な多段階 | PID 制御 | プログラム可能な多段階 |
| 基板のサイズ (カスタマイズ可能) | 駅あたり最大200mm (8") | 駅あたり最大300mm (12") | 450mm (18") まで - 調整可能 |
| プログラム可能な段階 | 駅ごとに10歩 | 駅ごとに5ステップ | レシピ (無制限) |
| バキュームシステム | 独立ポンプ 各駅 | 共有+電磁弁 | 独立した高流量ポンプ |
| 清潔度レベル (オプション) | N/A | クラス100 (Fed Std. 209E) | クラス1000 または パーソナライズ可能 |
| 収納材 | ステンレス鋼/PTFE | ステンレス鋼 + 耐腐蝕性 | 耐化学性コーティング |
| 配給システム | 手動用注射器/ノズル | 半自動計量ポンプ | セルボ駆動自動ドージング |
| インターフェース | 7インチタッチスクリーン | 双触覚画面 | PLC + HMI データログング |
| 電源 | AC 110/220V 50/60Hz | AC 220V 50/60Hz | AC 380V,50/60Hz (カスタマイズ可能) |
| サイズ | ~700×400×300ミリ | 650×750×1620mm | カスタマイズ可能 |
| 体重 | ~28kg | ~120kg | カスタマイズ可能 |
- 半導体: シリコン・ウェーバー,MEMS装置の光抵抗性コーティング
- 光電子機器: LED,太陽電池,フラットパネルディスプレイのための薄膜堆積
- 材料科学: ソーレジェル,ポリマー,ナノ複合材料のコーティング
- 生物医学生物センサーとマイクロ流体装置の製造
- 印刷電子機器: 柔軟な基板に導電性インク堆積
- パッケージ: 食品容器や紙製品に対する遮断塗装
この2つのステーションのスピンコーターは高度にカスタマイズ可能特定のアプリケーション要件を満たすために:
- チャック設計とサイズ: 10mmから450mmの基板用専用機械式真空回転機
- 回転速度範囲: 超薄膜用途では,15,000rpmまで拡張可能
- 駅数: 多局処理のための3つまたは4つのステーションに拡張可能
- 配給システム: 手動式,半自動式,またはセルボ制御ポンプで完全自動化
- 環境管理: クリーンルーム (10~100,000級),惰性ガス浄化,湿度制御
- 熱統合:内蔵ホットプレート (最大300°C) またはUV硬化モジュール
- 自動化ロボットによる積載/卸載,コンベヤー統合,バッチ加工
- 収納材: 溶剤耐性PTFE,不?? 鋼,爆発性設計
- パラレル加工: 2つのステーションが独立して動作する - 同時にコーティングとロード,単一のステーションユニットと比較して2倍のスループット
- 独立したレシピ管理: 各ステーションは異なる材料やスピンパラメータを同時に実行します
- 高精度: ブラシなしDCモーターまたは特殊な均一性を確保するための ±1rpmの安定性を持つサーボモーター
- 耐化学室: クリーンルームの互換性のために溶剤耐性コーティングのステンレス鋼構造
- セキュリティ・インターロック: 蓋のロックと各駅の緊急停止
- データの追跡可能性: レシピ保存,リアルタイムモニタリング,USB/Ethernet輸出 (オプション)
- 維持費が少ない: 密閉されたベアリングで振動のない設計
- 無料のプロセスコンサルティングと材料試験 (基材を送信してください)
- 現地設置,校正,操作者訓練
- すべての部品の12ヶ月保証,終身技術サポート
- 48時間以内にスペアパーツ (チャック,ポンプ,モーター) の利用可能性
- ビデオコールやIoTモニタリングによる遠隔トラブルシューティング (カスタマイズ可能)
- 梱包: 反静的泡 + 強化された複合板ケース (湿度感のある部品のための乾燥剤)
- 船舶: FOB 上海 / CIF 海,空,または鉄道で. リードタイム: 定番確認後15-30日 (カスタムチャックまたは自動化統合のためにより長い)
A: 双局機は,制御システムと足跡を1つ共有し,一方では,操作者が1つの局をロード/デロードし,もう1つはコーティングを行っています.投資総額が減る実験室のスペースが小さく 処理能力も高まります
A: そうです.各ステーションには 独立してプログラム可能な制御装置があり, 交差汚染をなくして 異なる材料や基板のサイズを 同時にコーティングできます.
A:チャックはカスタマイズできる丸いウエファー (2"~12") の標準チャックとオーダーメイド加工されたチャック方形,長方形,または不規則な基板の場合は