高通量24位置自動スピンコーティングシステム ウェファー,ガラス,OLED基板用 調整可能な配給

商品の詳細:

起源の場所: 中国
ブランド名: OSMANUV
証明: ISO9001
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パッケージの詳細: 木製パッケージ
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詳細情報

重さ: 純重量:150kg;総重量:160kg 製品名: 24駅のスピンコーティングライン
塗装方法: スピンコーティング アプリケーションタイプ: 産業用
材料: パルプ 制御インターフェース: 7インチナイロンタッチスクリーン
安全機能: 非常停止、過負荷保護 主なセールスポイント: パルス・モールド・コーティング

製品の説明

高通量24位置自動スピンコーティングシステム ウェファー,ガラス,OLED基板用 調整可能な配給
製品概要
について24 ステーション スピンコーター高出力薄膜コーティングシステムで,光抵抗剤,ポリマー,ソルゲル,ナノ粒子をワッフル,ガラス基板,ディスクに均一に堆積させる.各ステーションは独立してプログラムしたり,バッチモードで実行することができます..
機械は完全にカスタマイズできます- ステーションの配置,回転速度プロファイル,配給方法,ボウル材料,排気体設計 - 研究開発,パイロットライン,または生産環境に適合する.
テクニカルパラメータ
パラメータ 標準値 カスタマイズできる範囲
駅数 24 12 / 16 / 24カスタマイズできる
最大基板直径 8インチ (200mm) 12 インチ (300 mm) までカスタマイズできる
回転速度範囲 100〜8000 RPM 1〜12000 RPMカスタマイズできる
速度精度 ± 1 RPM ±0.5 RPMカスタマイズできる(閉ループ)
加速範囲 100〜20000 RPM/s カスタマイズ可能ソフトウェアで
プログラム可能なステップ レシピごとに10ステップ カスタマイズ可能(PCで無制限)
レシピの保存 100のレシピ (HMIで) カスタマイズ可能(ネットワークドライブ/クラウド)
配当の種類 静的,動的,線形,スパイラル カスタマイズ可能ノジルのパターンとタイミング
ボウル材料 ポリプロピレン (PP) PTFE/ステンレス鋼/ガラスカスタマイズできる
バキュームチャック型 中央に穴がある 複数のゾーン/エッジグリップカスタマイズできる
排気ガス流量 駅あたり60m3/h カスタマイズ可能クリーンルームの要件
電源 220V / 50Hz (単相) 110V~240V 50/60Hzカスタマイズできる
申請
  • 半導体/MEMS- 光耐性コーティング (2〜8インチ)
  • OLED/ディスプレイ製造- ポリマー層の堆積
  • 大学と研究室- 材料科学,ソルゲルフィルム
  • 医療機器のコーティング- 生物相容性のフィルム
  • カスタマイズできる: ペロビスカイト太陽電池,炭素ナノチューブ堆積,厚膜ペスト
主要 な 特徴
  • バッチまたは独立したステーション運用- 各局は異なるレシピを表示することができます
  • 閉ループのRPM制御- 変化する負荷下で速度を維持する
  • エンド・ビーズ・リモーション (EBR)選択されたステーションでオプション
  • 自動配送同期スピーン加速プロファイル
  • バキューム感とインターロック- 適切なチャック真空なしで回転を防ぐ
  • タッチスクリーンインターフェースリアルタイム速度/時間/ステップ表示
カスタマイズオプション
すべてのモデルのサポート完全なカスタマイズ:
  • ステーション数 (二階構成では最大48台)
  • スピンモータータイプ (ブラシなしDC/サーボ/空気駆動)
  • 配給自動化 (注射器ポンプ / 静止器 / 圧力タンク)
  • 環境制御 (温度/湿度/惰性ガス浄化)
  • クリーンルーム互換性 (クラス10からクラス100,000)カスタマイズできる)
  • SECS/GEM または RS232 データ輸出 製造実行システム
サポートとサービス
  • 電子機器の保証は24ヶ月 モーターの保証は12ヶ月
  • 終身電話/メール/WhatsAppの技術サポート
  • 現地での訓練と設置 (産業用モデル)
  • 部品は48時間以内に世界中に出荷されます
  • カスタマイズエンジニアリングサポート(CAD図 + PLCコード) を含む
梱包 と 輸送
  • 梱包:抗静的真空袋 + 泡の固定装置 + 強化された輸出用紙箱 (ベンチモデル) または複合木箱 (床モデル)
  • 輸送方法:DHL/FedEx (小単位),海運 (FOB/CIF),航空貨物
  • 配達期間: 20 ~ 45 日カスタマイズレベル
よく 聞かれる 質問
Q: 24の駅が同時に 異なる速度で走れるか?
A: はい,いや - 独立モーターバージョン (高コスト) で,はい. 共有ドライブバージョンでは,すべて同じ速度で走りますが,異なる配給タイミングを持つことができます -カスタマイズできる必要なもの
Q:チャックが保持できる最小基板の大きさは?
A: 標準チャックは2インチから8インチを保持します. 小さいパーツ (1cm × 1cm),我々はすることができますカスタマイズする低真空ゾーンを持つ真空チャック
Q: このコーティングは高粘度材料 (SU-8や厚い光抵抗材料など) に使用できますか?
A: そうですカスタマイズする高粘度アプリケーション用のモータートルクと配給ノズル (より大きなゲージ)

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