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詳細情報 |
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| 材料: | パルプ | 塗装方法: | DOD インクジェットヘッド |
|---|---|---|---|
| 熱源: | 電気IR加熱 | コーティングエリア: | 大きい区域 |
| 加熱方法: | 電気 | 膜厚制御: | 調整可能 |
| 寸法: | 顧客の要求として | モデル: | OSM-XT-450T |
| 生産ラインの統合: | パルプモールドの生産ラインに組み込み可能 | ||
製品の説明
コンパクトな24ポジションの回転スピンコーター パーソナライズ可能な基板サイズとスピンプログラム 研究開発とパイロット生産
製品概要
これは24 ステーションのスピンコーター光電阻,ポリマー,ナノ粒子,およびソルゲル材料の高出力薄膜堆積のために設計されています.各ステーションは独立または同期的に動作します.システムはサポートしますパーソナライズ可能なスピンプロファイル(加速,持続時間,速度) を各ステーションに設定し,R&Dと生産の両方にとって理想的です.
テクニカル仕様
| パラメータ | 値/範囲 | カスタマイズオプション |
|---|---|---|
| 駅数 | 24 | ✔カスタマイズ可能 (16/24/32ステーション) |
| 基板の大きさ | 12インチまでのウエーファーまたは300×300mmパネル | ✔パーソナライズ可能なチャックサイズ |
| 回転速度範囲 | 100〜12,000回転/分 | ✔駅ごとにプログラムできる |
| 速度精度 | ±1回転/分 | - |
| 加速範囲 | 100〜1万回転/秒 | ✔レシピごとに調整できる |
| 回転時間帯 | 1 - 999秒/ステップ | ✔カスタマイズできるステップ |
| 流出量 | 0.1 - 1 ノズルあたり 20 ml | ✔調整可能なノズルの種類 |
| エンジンの種類 | ブラシなしの直流サーボ | - |
| コーティングの均一性 | ±3% (24駅間) | ✔±1%までアップグレード可能 |
| 排気流 | 150〜500 m3/h | ✔調整可能な排気ガスインターフェース |
| 電源 | 220V / 50-60 Hz / 3.5 kW | ✔調整可能な電圧 |
| 尺寸 (L×W×H) | 1800×1200×900 mm | ✔パーソナライズできる足跡 |
| 体重 | 520kg | - |
申請
- 半導体ウエファーコーティング (光抵抗性)
- OLEDとペロビスキット太陽電池の製造
- バイオチップ&ポリマーフィルム製
- 光学用反光コーティング
- ナノ材料の堆積 (グラフェン,量子ドット)
- R&D 多条件スクリーニング (24つの異なるパラメータを同時に)
カスタマイズオプション
我々は提供します完全なカスタマイズ:
- 駅数8 / 12 / 16 / 24 / 32駅
- 基板の形とサイズ:丸いウエフ,四角板,不規則な基板
- 配給システム: 単針,複数ノズル,スプレー,インクジェット
- 環境管理湿度,温度,粒子フィルタリング
- 自動化レベル: マニュアル・ロード,半自動,完全インライン統合
- ソフトウェア: カスタマイズされたレシピ構造,バーコードスキャン,MESへのデータ輸出
主要 な 特徴
- 独立スピンモーターの個々のステーション制御
- レシピライブラリ付きのタッチスクリーン (最大999のレシピ)
- 駅ごとにリアルタイム速度と時間監視
- 基板の保持装置のドリップ防止真空検出
- 自動溶剤配送器の同期
- 低振動と音響室
- 緊急停止・ロック保護
- カスタマイズ可能排気ガスと廃棄物収集タンク
サポートとサービス
- 設置と現場訓練
- 標準保証18ヶ月 (延長可能)
- リモートデバッグとIoTサポートオプション
- 年間校正と予防保守計画
- 零部件供給 ≥10年
- カスタムソフトウェア開発サポート
梱包 と 輸送
- 梱包: 反静的真空密閉 + プレイウッド輸出ケース (衝撃防止,湿度防止)
- 輸送方法: FOB/CIF 海上,空中 (ベンチトップユニットではオプション)
- リードタイム: 注文確認後30~45営業日 (カスタマイゼーションは15日追加)
- 付属する書類: ユーザーマニュアル,校正証明書,CE宣言
よく 聞かれる 質問
Q1: 24のステーションが同時に異なるスピンプログラムを実行できますか?
A: はい.各ステーションはカスタマイズ可能な独立レシピ(速度,時間,加速)
Q2: どんな基板のサイズをカスタマイズできますか?
A: 5×5mmチップから300×300mmパネルまたは12インチワッフルまで. 基板の図面をお願いします.
Q3: この機械はクリーンルームと互換性がありますか?
A: はい.選択可能なHEPA/ULPAフィルターモジュールと互換性のあるクラス100 (ISO 5)
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