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詳細情報 |
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| 材料: | パルプ | 塗装方法: | DOD インクジェットヘッド |
|---|---|---|---|
| 熱源: | 電気IR加熱 | コーティングエリア: | 大きい区域 |
| 加熱方法: | 電気 | 膜厚制御: | 調整可能 |
| 寸法: | 顧客の要求として | モデル: | OSM-XT-450T |
| 生産ラインの統合: | パルプモールドの生産ラインに組み込み可能 | ||
製品の説明
コンパクトな24ポジションの回転スピンコーター パーソナライズ可能な基板サイズとスピンプログラム 研究開発とパイロット生産
製品概要
この24ステーションのスピンコーターは,光抵抗剤,ポリマー,ナノ粒子,およびソルゲル材料の高出力薄膜堆積のために設計されています.各ステーションは独立または同期的に動作します.システムでは,カスタマイズ可能なスピンプロファイル (加速) がサポートされています., 持続時間,速度) が各ステーションに適用され,研究開発と生産の両方にとって理想的です.
テクニカル仕様
| パラメータ | 値/範囲 | カスタマイズオプション |
|---|---|---|
| 駅数 | 24 | ✔ カスタマイズ可能 (16/24/32 ステーション) |
| 基板の大きさ | 12インチまでのウエーファーまたは300×300mmパネル | ✔ パーソナライズできるチャックサイズ |
| 回転速度範囲 | 100〜12,000回転/分 | ✔ 各駅ごとにプログラム可能 |
| 速度精度 | ±1回転/分 | - |
| 加速範囲 | 100〜1万回転/秒 | ✔ レシピ に かける 調整 |
| 回転時間帯 | 1 - 999秒/ステップ | ✔ 設定可能なステップ |
| 流出量 | 0.1 - 1 ノズルあたり 20 ml | ✔ 調整可能なノズルの種類 |
| エンジンの種類 | ブラシなしの直流サーボ | - |
| コーティングの均一性 | ±3% (24駅間) | ✔ ± 1% にアップグレードできる |
| 排気流 | 150〜500 m3/h | ✔ 調整可能な排気体インターフェース |
| 電源 | 220V / 50-60 Hz / 3.5 kW | ✔ 調整可能な電圧 |
| 尺寸 (L×W×H) | 1800×1200×900 mm | ✔ パーソナライズできる足跡 |
| 体重 | 520kg | - |
申請
- 半導体ウエファーコーティング (光抵抗性)
- OLEDとペロビスキット太陽電池の製造
- バイオチップ&ポリマーフィルム製
- 光学用反光コーティング
- ナノ材料の堆積 (グラフェン,量子ドット)
- R&D 多条件スクリーニング (24つの異なるパラメータを同時に)
カスタマイズオプション
私たちは完全なカスタマイズを提供しています:
- ステーション数:8 / 12 / 16 / 24 / 32駅
- 基板の形とサイズ:丸いウエーファー,四角パネル,不規則な基板
- 配給システム:シングルネイル,マルチノズル,スプレー,インクジェット
- 環境管理湿度,温度,粒子のフィルタリング
- 自動化レベル:マニュアルロード,半自動,全線統合
- ソフトウェア:カスタマイズされたレシピ構造,バーコードスキャン,MESへのデータ輸出
主要 な 特徴
独立スピンモーターの個々のステーション制御
レシピライブラリ付きのタッチスクリーン (最大999のレシピ)
駅ごとにリアルタイム速度と時間監視
基板の保持装置のドリップ防止真空検出
自動溶剤配送器の同期
低振動と音響室
緊急停止・ロック保護
調整可能な排気ガスと廃棄物収集タンク
サポートとサービス
- 設置と現場訓練
- 標準保証18ヶ月 (延長可能)
- リモートデバッグとIoTサポートオプション
- 年間校正と予防保守計画
- 零部件供給 ≥10年
- カスタムソフトウェア開発サポート
梱包 と 輸送
- 梱包:反静的真空密閉 + プレイウッド輸出ケース (衝撃防水)
- 輸送方法:FOB/CIF 海上,空中 (ベンチトップユニットではオプション)
- 配達時間:注文の確認後30~45日 (カスタマイゼーションは15日追加)
- 文書は以下のとおりです使用説明書,校正証明書,CE宣言
よく 聞かれる 質問
Q1: 24のステーションが同時に異なるスピンプログラムを実行できますか?
A: はい.各ステーションは,カスタマイズ可能な独立したレシピ (速度,時間,加速) をサポートします.
Q2: どんな基板のサイズをカスタマイズできますか?
A: 5×5mmチップから300×300mmパネルまたは12インチワッフルまで. 基板の図面をお願いします.
Q3: この機械はクリーンルームと互換性がありますか?
A: はい.選択可能なHEPA/ULPAフィルターモジュールと互換性のあるクラス100 (ISO 5)
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