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詳細情報 |
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| コーティングの耐久性: | 高い耐久性 | 光源: | IRライト |
|---|---|---|---|
| 使用法: | 紙プリンター ラベルプリンター カードプリンター | 膜厚: | 調整可能な |
| モデル: | OSM-XT-450T | 生産能力: | 4800PCS/8H |
| 主要なセールスポイント: | パルス・モールド・コーティング | 作動力: | 2.4kw |
| ハイライト: | 全自動スピンコーター、24ステーションパルプモールディングコーター、カスタマイズ可能なディスペンススピンコーター,24-station pulp molding coater,Customizable dispense spin coater |
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製品の説明
完全自動 24回転プロセッサ 研修から生産まで
これは24 ステーションのスピンコーター自動化され,高速な薄膜堆積のために設計されています. 24つの独立したコーティングポジションのそれぞれに,直径200mm (または 156×156mmの平方) までの基板を装着することができます.システムでは,順序的に配給を完了します,加速,スピン-ホール,およびエッジ-ビーズ除去ステップを介してカスタマイズ可能なレシピデータベース.
主要 な 利点
- 交差汚染ゼロ- 各駅の各ボウルと排気
- 高度な均一性すべてのステーションで 3000 rpm で < ± 3%
- 完全なカスタマイズ- 基板材料 (Si,ガラス,ポリマー,金属),ガス浄化 (N2,清潔な乾燥空気)
テクニカルパラメータ
| パラメータ | 標準値 | カスタマイズできる範囲 |
|---|---|---|
| 駅数 | 24 | 12 / 16 / 24 / 32 (カスタマイズ可能) |
| 最大基板サイズ | 直径200mmまたは 156×156mmの正方形 | 50~300mm (カスタマイズ可能なチャック) |
| 回転速度範囲 | 0~6000回転/分 | 0〜10000回転/分 |
| 速度精度 | ±1回転/分 | - そうだ |
| スピンの加速 | 200〜10000回転/秒 | 20000rpm/sまで調整可能 |
| コーティングの均一性 | < ±3% @3000回転/分 | ±2%利用可能 |
| プロセスガス | 1チャンネル (N2) | 2 - 4 つのガスチャネル (カスタマイズ可能) |
| 配当の種類 | 静的 / 動的 | レシピごとに最大3つの投与ステップ |
| エグゼットフロー (各駅) | 45m3/h | 30〜80m3/h (カスタマイズ可能) |
| 環境 | クラス10 クリーンルーム対応 | クラス1オプション |
| 電源 | 400V / 50Hz / 3P | 208V - 480V (カスタマイズ可能) |
| 機械の寸法 (W×D×H) | 2100 × 1200 × 1900 mm | 幅/深さカスタマイズできる |
生産ラインの統合
コーティングラインに組み込まれると,24ステーションのスピンコーティングは,通常,以下のように動作します.
- 荷下し/荷下し(雑誌から雑誌へ)カスタマイズできるインターフェース
- 調整前ステーション- 選択可能な縁/ノッチの調整
- 24 ステーションのスピンコーター- メインユニット
- エッジ・ビーズ・リメイカー (EBR)- 統合または別々の駅
- 塗装後の焼物皿- ホットプレートまたはIR (プログラム可能)
- 冷却ステーション- アクティブまたはパシブ
- 中央化学物流システム- 1-12 ボトル 自動補給
- 排気ガスと溶剤回収システム- 光耐性,PI,PMMAなどに合わせられる
申請
- 半導体- 光耐性コーティング (iライン,KrF,ArF)
- ペロビスキット太陽電池- 大面積の均一な堆積
- OLED / QLED- 穴の注射/輸送層
- MEMSとマイクロ流動学- SU-8,PDMS,ポリマーコーティング
- 研究開発 試行ライン- 多基板プロセスの開発
- ガラス/サファイア/セラミック基板- 表面の平ら化
- リチウム電池- 分離器や電極にスラムを塗る
カスタマイズオプション
これは24ステーションのスピンコーターは高度にカスタマイズできます次の側面について:
- 基板の大きさと形- 丸い,四角形,長方形,またはカスタムカット
- チャック設計- 真空,機械式クランプ,または静電チャック
- ボウル材料- PP,PVDF,PTFE,またはステンレス鋼 (攻撃的な溶媒のために)
- 配送ドズル- 1 駅あたり最大 3 つの独立したノズル調整可能なXY運動
- プロセスガス- N2,清潔な乾燥空気,Ar,または形成ガス
- 裏側を洗浄し,角を消す- プログラム可能
- レシピライブラリ- 1000個以上のカスタムレシピを無制限に保存する
- インターフェース- SMEMA,SECS/GEM,OPC-UA,またはModbus TCP
- 安全性- 燃やす溶媒に対する爆発防止配置
主要 な 特徴
- 独立系駅監視- 各ステーションはフィルム厚さの傾向とアラーム履歴を追跡
- アクティブ・カバー・インターロック- 蓋を開けると操作を妨げる
- 溶剤滴取り器- メンテナンスの頻度を減らす
- レシピをダウンロードする- <1秒で24駅を交換する
- データログ- CSV エクスポート (回転速度と時間)
- 低振動設計- 最大速度で<0.5 μm/s2
- 省エネモード- 排気回転が自動減速する
サポートとサービス
- 遠隔設置ガイド- ビデオコール設定も含まれます
- 24/7 の技術サポート- エンジニアリングチーム (英語/中国語)
- 現地での訓練- 選択 (3日間)
- 12ヶ月保証- 36ヶ月まで延長可能
- 部品の利用可能性- 5年保証
- プロセス開発支援- 無料のレシピ最適化
梱包 と 輸送
| ポイント | 方法 |
|---|---|
| 梱包 | バキュームシール + 反静的泡 + プレイウッドキャスト (VCI腐食防止) |
| 輸送期間 | FOB / CIF / DDP (オートで選ぶ) |
| リードタイム | 45 - 60 営業日 (個別化: +15 日) |
| 交通 | 40'HCコンテナ (コンテナ1台) または緊急注文の航空貨物 |
| 文書 | 商用請求書,包装リスト,CE申告,操作説明書 (デジタル+印刷) |
よく 聞かれる 質問
Q1: 異なるステーションで異なる基質を同時にコーティングできますか?
A:そうです 各ステーションは独立して動きます 例えば,ステーション1〜6は4インチのウエフをコーティングできますが,ステーション7〜12は6インチのウエフをコーティングします完全にカスタマイズできる.
Q2: 機械は高粘度材料 (>1000 cP) をサポートしていますか?
A: そうですカスタマイズできるスロー・ディスペンシングと高トルクスピンモーター (最大1.5N*m) 厚い光抵抗体やポリミド用
Q3: 光電阻から別の光電阻に切り替えられるのに どれくらいの時間がかかりますか?
A: 選択的なカスタマイズ可能なクリーンボウル設計中央化学線は自動的に洗浄できます.
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