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詳細情報 |
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| 死んだ: | 調整可能な | 基板: | 繊維セメントボード |
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| ワーキングステーション: | 二 | 熱源: | 電気IR加熱 |
| 外観: | 各種パルプモールド製品に対応 | 乾燥時間: | 調整可能な |
| 塗装方法: | スプレー塗装・ローラー塗装 | 機械重量: | 500～800kg程度 |
| ハイライト: | シングルステーションスピンコーター,パーソナライズ可能なランプ速度スピンコーター,R&Dラボのパルスコーティングマシン |
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製品の説明
高精度シングルステーションスピンコーター – 研究開発ラボ向けのカスタマイズ可能なランプと速度プロファイル
製品概要
当社のシングル ステーション スピン コーターは、フォトレジスト、ポリイミド、ゾルゲル、およびナノ粒子の均一な薄膜堆積用に設計されています。優れた速度安定性 (< ±1% 変動)、低振動動作、および耐薬品性のボウルが特徴です。コンパクトな設計により、研究開発研究所、パイロットライン、小バッチ生産環境に最適です。
カスタマイズ可能オプションには、チャックのサイズ、ボウルの材質 (PTFE/PP/ステンレス鋼)、モーターの種類 (ブラシレス DC/サーボ)、排気ポートの位置が含まれます。
技術仕様
| パラメータ | 標準範囲 | カスタマイズ可能なオプション |
|---|---|---|
| 基板サイズ | 直径10mm～150mm | 200mm角まで |
| 速度範囲 | 100～12,000rpm | 50～15,000rpm |
| 加速度 | 100～10,000rpm/秒 | カスタマイズ可能ランププロファイル |
| 速度の安定性 | ±0.5% | ±0.1%（サーボモーター） |
| プログラムステップ | 10 プログラム、各 20 ステップ | 無制限のステップカスタマイズ可能な |
| チャックタイプ | 真空チャック（アルミ） | PTFE / セラミック / カスタムパターン |
| ボウル材質 | ポリプロピレン(PP) | PTFE/ステンレス316L |
| 排気ポート | 後部Ø50mm | 左/右/デュアルポート |
| モーターの種類 | ブラシレスDC | サーボモーターカスタマイズ可能な |
| 画面 | 4.3インチ液晶ディスプレイ | 7 インチ HMI タッチスクリーン |
| 力 | 220V/50Hz または 110V/60Hz | あらゆる電圧に対応可能 |
アプリケーション
- 半導体ウエハーコーティング（フォトレジスト、ARC）
- OLEDと量子ドット薄膜
- ゾルゲルおよびスピンオングラス (SOG)
- バイオセンサーとポリマー膜の蒸着
- ペロブスカイト太陽電池の作製
にも適していますカスタマイズ可能な高粘度または高温プロセス。
カスタマイズオプション
- ボウル内径と排水溝の設計
- 非標準基板用の真空チャック形状（長方形、割れたウェーハなど）
- インターロック付き自動カバー
- 脱水中の窒素ブロー乾燥
- 複数のディスペンスノズルブラケット
- 特殊コーティングプログラム（リバーススピン、パルススピンなど）
主な特長
- 均一なエッジビードによる高い加速再現性
- リアルタイム速度曲線表示とデータエクスポート(CSV)
- 工具不要で簡単に交換できるチャック設計
- 耐薬品性と継ぎ目のないステンレス鋼または PTFE ボウル
- 運転間の洗浄のための自動充填すすぎ機能
- カスタマイズ可能複数のオペレータ用のレシピ ライブラリ
サポートとサービス
- インストールガイドとキャリブレーションビデオが付属
- 24時間以内のリモートトラブルシューティング
- モーターとコントローラーは18ヶ月保証
- オンサイトトレーニング（以下の場合に利用可能）カスタマイズ可能なパッケージ）
- 現地の倉庫 (米国/EU/アジア) からスペアパーツを発送
梱包と発送
- 梱包: 静電気防止袋付き発泡裏地付き木製ケース
- 寸法 (カートン): 55×45×45 cm
- 総重量: 約。 22kg
- 配送: DHL / FedEx / UPS 航空貨物;大量注文には海上輸送も可能
- カスタマイズ可能ドロップシッピング用のラベル付けと輸出梱包
よくある質問
Q1: 速度ランプを複数のステップにカスタマイズできますか?
はい。最大20ステップのプロファイルが可能カスタマイズ可能なレシピごとに。
Q2: 100 mm の円形または正方形の基板に適合しますか?
はい。私たちは提供しますカスタマイズ可能な正方形、長方形、および不規則な基板用のチャック。
Q3: カスタムボウル素材の納期はどのくらいですか?
標準ユニットは 7 日以内に発送されます。カスタマイズ可能ボウル (PTFE など) の場合は 3 ～ 4 週間かかります。
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