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商品の詳細:
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| 状態: | 新しい | ドリブンタイプ: | 電気、その他、機械的 |
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| 梱包材: | 木材、プラスチック、金属、紙、ガラス | 包装タイプ: | ケース、カートン、フィルム、ウッダーパッケージ、バッグ |
| 保証: | 1年、1年、12か月 | 色: | あなたは、虹など、ゴールデン、カスタマイズされた、シルバーを決定することができます |
| 使用法: | スポット UV コーティング機、デジタルプリント保護 | 材料: | PP、粘着レーザー材料、ボトルガラス、金属、PVC |
| ハイライト: | 産業用スピンコーター ±1%の均一性,シングルステーションスピンコーター カスタマイズ可能な加速,パルプ成形コーティング機 ディスペンス制御 |
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このシングルステーション スピン コーターは、フォトレジスト、ポリマー、ゾルゲル材料、ナノ粒子、およびその他の機能性液体を、小さな破片から 8 インチのウェハーに至るまでの基板上に正確かつ均一に堆積できるように設計されています。このシステムは、プログラム可能な速度と加速プロファイルを備えた安定性の高いブラシレス DC モーターを使用しており、再現可能な薄膜コーティング結果を保証します。半導体研究開発、MEMS製造、ペロブスカイト太陽電池、光学コーティング用途に最適です。システムは完全にカスタマイズ可能ですチャックのサイズ、ボウルの材質、モーターの仕様、およびオプションの加熱モジュールまたは UV 硬化モジュールなどがあります。 私たちは提供します完全なカスタマイズ含む: A: はい。完全にカスタマイズいたします正方形、長方形、最大 450 mm までの不規則な破片など、あらゆるチャックの形状とサイズに対応します。 A: 通常は、材料の粘度と回転速度に応じて 0.1µm ~ 200µm です。スピンプロファイルをカスタマイズして、特定のコーティング材料の厚さを最適化できます。 A: はい。サーボ モーター オプションは、厚い材料に対してより高いトルクを提供します。ディスペンスノズルとプリスピン遅延をカスタマイズすることもできます。
パラメータ
標準範囲
カスタマイズ可能なオプション
基板サイズ
10mm - 200mm (8インチ)
✅ 最大450mm (18インチ)
スピン速度範囲
100~12,000rpm
✅ 最大15,000rpm
速度精度
±1rpm
✅ ±0.1rpm
加速範囲
100~30,000rpm/秒
✅ セグメントごとにプログラム可能
モーターの種類
ブラシレスDC
✅ サーボモーターオプション
ボウル/チャンバー材質
天然ポリプロピレン
✅ PTFE / ステンレス鋼 / アルミニウム
プログラムストレージ
12 プログラム、各 6 セグメント
✅ 200 プログラム、各 40 セグメント
スピン時間範囲
1~999秒
✅ 1 ステップあたり最大 45 時間
真空要件
25 - 28 inHg
✅ 真空レベルを調整可能
窒素パージ
60 ~ 70 PSIG
✅ CDAまたは不活性ガス
電源
220V / 50-60Hz / 単相
✅ 110V / 380V が利用可能
コンタクトパーソン: Mr. Zhang guoxin
電話番号: +86 13926890692
ファックス: 86-769-88120350