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詳細情報 |
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| 状態: | 新しい | ドリブンタイプ: | 電気、その他、機械的 |
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| 梱包材: | 木材、プラスチック、金属、紙、ガラス | 包装タイプ: | ケース、カートン、フィルム、ウッダーパッケージ、バッグ |
| 保証: | 1年、1年、12か月 | 色: | あなたは、虹など、ゴールデン、カスタマイズされた、シルバーを決定することができます |
| 使用法: | スポット UV コーティング機、デジタルプリント保護 | 材料: | PP、粘着レーザー材料、ボトルガラス、金属、PVC |
| ハイライト: | 産業用スピンコーター ±1%の均一性,シングルステーションスピンコーター カスタマイズ可能な加速,パルプ成形コーティング機 ディスペンス制御 |
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製品の説明
±1%の均一性を備えた産業用シングルステーションスピンコーター – カスタマイズ可能な加速と塗布制御
製品説明
このシングルステーション スピン コーターは、フォトレジスト、ポリマー、ゾルゲル材料、ナノ粒子、およびその他の機能性液体を、小さな破片から 8 インチのウェハーに至るまでの基板上に正確かつ均一に堆積できるように設計されています。このシステムは、プログラム可能な速度と加速プロファイルを備えた安定性の高いブラシレス DC モーターを使用しており、再現可能な薄膜コーティング結果を保証します。半導体研究開発、MEMS製造、ペロブスカイト太陽電池、光学コーティング用途に最適です。システムは完全にカスタマイズ可能ですチャックのサイズ、ボウルの材質、モーターの仕様、およびオプションの加熱モジュールまたは UV 硬化モジュールなどがあります。
生産ラインの構成
- スピンコート本体（シングルボウル仕様）
- 基板アダプターキット付き真空チャック
- プログラマブル デジタル コントローラー (タッチスクリーン HMI)
- オイルフリー真空ポンプ（≧60L/min）
- 自動または手動ディスペンス システム (シリンジ/ノズル)
- 排気・ドレンポートAssy
- モーターシール保護用窒素パージ入口
- オプション: 統合ホットプレート / UV 硬化モジュール
技術的パラメータ
| パラメータ | 標準範囲 | カスタマイズ可能なオプション |
|---|---|---|
| 基板サイズ | 10mm - 200mm (8インチ) | ✅ 最大450mm (18インチ) |
| スピン速度範囲 | 100～12,000rpm | ✅ 最大15,000rpm |
| 速度精度 | ±1rpm | ✅ ±0.1rpm |
| 加速範囲 | 100～30,000rpm/秒 | ✅ セグメントごとにプログラム可能 |
| モーターの種類 | ブラシレスDC | ✅ サーボモーターオプション |
| ボウル/チャンバー材質 | 天然ポリプロピレン | ✅ PTFE / ステンレス鋼 / アルミニウム |
| プログラムストレージ | 12 プログラム、各 6 セグメント | ✅ 200 プログラム、各 40 セグメント |
| スピン時間範囲 | 1～999秒 | ✅ 1 ステップあたり最大 45 時間 |
| 真空要件 | 25 - 28 inHg | ✅ 真空レベルを調整可能 |
| 窒素パージ | 60 ～ 70 PSIG | ✅ CDAまたは不活性ガス |
| 電源 | 220V / 50-60Hz / 単相 | ✅ 110V / 380V が利用可能 |
応用
- 半導体とMEMS- リソグラフィー用フォトレジストコーティング
- ペロブスカイト太陽電池および有機太陽電池- 薄膜蒸着
- 光学コーティング- 反射防止層とフィルター層
- 生体医療機器- バイオポリマーおよび薬剤溶出コーティング
- グラフェンと 2D マテリアル- 均一な分散コーティング
- OLEDと量子ドット- 発光層の堆積
- ガラス＆セラミックコーティング- ゾルゲルと保護層
カスタマイズ
私たちは提供します完全なカスタマイズ含む：
- 真空チャックのサイズと形状（丸/角/破片、3mm～450mm）
- ボウルの材質: PTFE、Teflon®、ステンレス鋼、または耐薬品性のアルミニウム
- モーターのアップグレード: サーボモーターの精度が向上し、速度範囲が拡張されました。
- 統合モジュール: ホットプレート (最大 300°C)、UV 硬化 (365nm/395nm LED)
- 自動ディスペンスシステム: プログラム可能なシリンジポンプまたはスプレーノズル
- 排気システム: HEPAフィルターによるアクティブ化学ヒューム抽出
- ソフトウェア: カスタムレシピ管理、データロギング、リモートコントロール
- 複数のボウルにより、二次汚染を引き起こすことなく材料を迅速に交換できます
特徴
- 基板全体にわたる膜厚均一性 ±1%
- 最大 30,000 rpm/s の瞬時加速でシャープなコーティングプロファイルを実現
- リアルタイムの速度と時間表示を備えたタッチスクリーン PLC
- 真空インターロック - 真空がしきい値を下回ると自動的に停止します
- 液だれ防止、飛沫防止ボウル設計
- 窒素パージによりモーターの寿命が延び、傷つきやすいコーティングを保護します
- コンパクトなベンチトップの設置面積により実験室のスペースを節約
- 敏感な電子材料のための ESD 安全構造
サポートとサービス
- 詳細な均一性レポート付きの無料サンプル コーティング テスト
- オンサイト設置およびオペレータートレーニング (オプション)
- モーターとコントローラーは24ヶ月保証
- ビデオ通話/電子メールによる無期限のリモート技術サポート
- スペアパーツキット付属 (真空シール、O リング、ヒューズ)
- 非標準基板用のカスタムチャック製造
梱包と発送
- パッキング：帯電防止フォーム + 真空密封袋 + 輸出用強化合板ケース
- 配送：FOB 上海 / 深セン / 広州
- リードタイム：10 ～ 25 営業日 (カスタマイズ レベルによって異なります)
- 配送方法:航空便（小型ユニットの場合）、船便（産業用システムの場合）、宅配便（DHL/FedEx）
よくある質問
Q1: 非標準の正方形基板 (100mm x 100mm) 用にチャックをカスタマイズできますか?
A: はい。完全にカスタマイズいたします正方形、長方形、最大 450 mm までの不規則な破片など、あらゆるチャックの形状とサイズに対応します。
Q2: 達成可能なコーティングの最小および最大の厚さはどれくらいですか?
A: 通常は、材料の粘度と回転速度に応じて 0.1µm ～ 200µm です。スピンプロファイルをカスタマイズして、特定のコーティング材料の厚さを最適化できます。
Q3: このスピンコーターは、厚いフォトレジストのような高粘度の材料にも使用できますか?
A: はい。サーボ モーター オプションは、厚い材料に対してより高いトルクを提供します。ディスペンスノズルとプリスピン遅延をカスタマイズすることもできます。
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