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詳細情報 |
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| 膜厚: | 180g～400g | インバーターブランド: | シュナイダー |
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| 方向の運搬: | 左から右。 | 湿度: | 50±10°C |
| 登録の精度: | ±0.15mm | 機械試験報告書: | 提供された |
| 平均速度: | 0～20m/分 | マックスコーティング幅: | 790*1150mm |
| ハイライト: | 12ステーション自動スピンコーター,半導体膜成膜装置,ペロブスカイトスピンコーター装置 |
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製品の説明
半導体とペロビスキットフィルム準備のための高精度12ステーション自動スピンコーター
製品概要
この12ステーションのスピンコーターは,高出力薄膜堆積物各ステーションは,閉ループ制御により,速度,加速,コーティング時間の設定を独立して, ± 1 rpm の精度を達成する.ステーション数,配給方法,室のサイズ,排気システムはすべてカスタマイズできます研究開発とパイロット生産の両方に最適です
テクニカル仕様
| パラメータ | 値/範囲 | カスタマイズオプション |
|---|---|---|
| 駅数 | 12 | 4 / 8 / 12 / 16 ステーション |
| スピード範囲 | 100〜1万回転/分 | 12000rpmまで拡張可能 |
| 加速範囲 | 50〜1万回転/秒 | カスタマイズ可能 |
| 速度精度 | ±1回転/分 | - |
| 最大基板サイズ | 150mm直径 | 200mmまで調整可能 |
| カメラ材料 | PP / PTFE / 316Lステンレス鋼 | パーソナライズ可能な接触材料 |
| 環境管理 | 排気と浄化可能 | カスタマイズ可能なN2浄化モジュール |
| プログラム保存 | 1000以上のレシピ | - |
| 電源 | AC 220V / 50Hz | 110V / 60Hz に調整可能 |
申請
- ペロビスキット太陽電池フィルム
- 光耐性コーティング (半導体リトグラフィー)
- ソルゲル薄膜
- OLEDと量子点発光層
- バイオセンサコーティング
- 非平面型または柔軟な基板に調整可能
カスタマイズオプション
- システムレベルおよびプロセスレベルでのカスタマイズ
- 駅数,配置,配給経路
- 部屋の大きさと材料 (酸耐性,溶剤耐性)
- 自動浄化・廃棄物溶剤回収システム
- 熱/UV/IR コーティング後の硬化モジュール
- 工場 MES/ERP データ インターフェース 統合
主要 な 特徴
- 12 個の独立運転ステーション独立モーターと制御装置
- 高速加速反応- 設定速度 <0.5秒で到達する
- 多点配給プログラム- 動的/静的配給をサポート
- 交叉汚染の予防- 各駅の独立系排気管
- 一クリックでレシピをリコールする任意のバーコードスキャン起動
- 調整可能な安全鍵とeストップ論理
サポートとサービス
- 全世界のリモートサポート (TeamViewer/VPN)
- 現地設置と訓練 (オプション)
- プロセスコンサルティング - 粘度/速度/厚さモデリング
- 地方のスペアパーツストック -パーツキット
- 18ヶ月保証 (意図的な損傷を除く)
梱包 と 輸送
- 衝撃防止の木製ケース (ISTA規格に準拠)
- 乾燥剤と湿度指標が内側に入っている
- 輸送方法:海 / 空 / 陸 -調整可能な輸出ラベルと蒸発証明書
- 標準モデルでは4週間,カスタマイズされたモデルでは6〜8週間
よく 聞かれる 質問
Q1: 8インチのウエフラーをコーティングできますか?
A: 標準最大 150 mm -200mmまでカスタマイズできる室.
Q2: 異なるステーションで同時に異なるレシピを実行できますか?
A: はい - 各ステーションは独立してプログラムできます.
Q3:環境用N2コーティングがサポートされていますか?
A: その通り酸素モニタリングのフル・チャンバーN2浄化がカスタマイズ可能.
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