産業用エキシマレーザー加工装置 |柔軟な生産ラインの統合と完全にカスタマイズ可能なパラメータ
産業用エキシマレーザー加工装置 |柔軟な生産ラインの統合と完全にカスタマイズ可能なパラメータ
産業用エキシマレーザー加工装置 柔軟な生産ラインの統合と完全にカスタマイズ可能なパラメータ 製品概要 高精度微細加工、半導体アニール、薄膜パターニングを目的とした工業用エキシマレーザー加工装置です。リアルタイム監視による自動生産ラインへの完全な統合をサポートします。このシステムは、長寿命の光学系と AI 支援プロセス制御を備えたガス封止エキシマ光源を備えています。 生産ライン構成 エキシマレーザー光源ユニット ビーム整形および均一化モジュール 高速XY走査ステージまたはマスク投影ユニット インライン基板ハンドリングロボット (カスタマイズ可能なトラック幅) 排気ガス管理システム レシピマネージ...
Place of Origin:中国
Brand Name:OSMANUV
Certification:ISO9001
Model Number:仕様
Minimum Order Quantity:1セット
Price:交渉可能
Product Custom Attributes
ハイライト
産業用エキシマーレーザー加工システム 柔軟なエキシマーレーザー生産ライン パーソナライズ可能なUVコーティングマシンパラメータ
,Flexible excimer laser production line
,Customizable UV coating machine parameters
電圧:
220V/380V
コンベヤ速度:
25〜80m/min
製品名:
1.5kw
効率的な平坦化幅:
920mm
コーティング材:
各種素材
UVランプタイプ:
水銀ランプ
巻き戻し折りエラー:
±0.1mm
乾燥タイプ:
IR乾燥
Product Description
産業用エキシマレーザー加工装置
柔軟な生産ラインの統合と完全にカスタマイズ可能なパラメータ
製品概要
高精度微細加工、半導体アニール、薄膜パターニングを目的とした工業用エキシマレーザー加工装置です。リアルタイム監視による自動生産ラインへの完全な統合をサポートします。このシステムは、長寿命の光学系と AI 支援プロセス制御を備えたガス封止エキシマ光源を備えています。
生産ライン構成
- エキシマレーザー光源ユニット
- ビーム整形および均一化モジュール
- 高速XY走査ステージまたはマスク投影ユニット
- インライン基板ハンドリングロボット (カスタマイズ可能なトラック幅)
- 排気ガス管理システム
- レシピマネージャーを備えたプロセス制御PC
技術的パラメータ
| パラメータ | 値の範囲(標準) | カスタマイズオプション |
|---|---|---|
| 波長 | 193nm / 248nm / 308nm | 多波長切り替え可能(カスタム) |
| 最大パルスエネルギー | 0.5~1200mJ | 最大 2000 mJ (カスタム) |
| パルス周波数 | 1~6000Hz | 最大 10 kHz (カスタム) |
| 平均電力 | 5~300W | カスタムスケーリングが利用可能 |
| ビームサイズ(出口) | 10×10mm | 長方形ビーム 最大 50×50 mm (カスタム) |
| ビームの均一性 | < ±3% (σ) | < ±1% (カスタム光学系) |
| 生産ラインの統合 | SMEMA / SECS/GEM | カスタム PLC プロトコル (カスタム) |
アプリケーション
- 先進ディスプレイ用シリコンアニーリング (LTPS)
- MEMSおよび半導体ウェーハのダイシング
- ポリマー表面活性化
- 医療機器の微細構造化
- フレキシブル基板の穴あけ
カスタマイズオプション
私たちは提供します完全なカスタマイズ波長選択、パルスエネルギー、走査フィールドサイズ、ガス混合物、冷却方法(空気/水/チラー)、生産ライン通信プロトコルなど。ご要望に応じて、カスタマイズされたビーム送達アームとクラス 1 エンクロージャも利用可能です。
主な特長
- > 2000 時間のガス寿命 (最適化されたガス混合物)
- 内蔵エネルギー安定化 (リアルタイムフィードバック)
- リモート診断と予知保全
- バイパスガス節約モードによる低所有コスト (LOO)
- コンパクトなモジュラー設計により、ラインを迅速に再構成可能
サポートとサービス
- 年中無休のテクニカル サポート (電話/リモート)
- 現場での設置と生産ラインの統合
- エンジニア向けのカスタム トレーニング
- 最長5年間の延長保証
- ガス補充および光学部品の改修プログラム
梱包と発送
- 湿気を管理し、衝撃を吸収した容器に密封
- 真空密閉光学ボックス
- リアルタイム追跡による航空または海上輸送
- 輸出用木箱は ISPM-15 規格を満たしています
よくある質問
Q1: コンパクトな生産ラインに合わせてレーザーヘッドのサイズをカスタマイズできますか?
はい、レーザーヘッドとビーム伝達経路は次のとおりです。完全にカスタマイズ可能狭いラインスペースや奇妙な形のラインスペースにフィットします。
Q2: カスタマイズされたシステムの納期はどれくらいですか?
標準: 8 ~ 10 週間。カスタマイズ: デザインの検証を含めて 12 ~ 14 週間。
Q3: 既存の MES との統合はサポートされていますか?
はい、提供しますカスタム SECS/GEM、OPC-UA、または Modbusインターフェース。