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商品の詳細:
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| 電圧: | 220V/380V | コンベヤ速度: | 25〜80m/min |
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| 製品名: | 1.5kw | 効率的な平坦化幅: | 920mm |
| コーティング材: | 各種素材 | UVランプタイプ: | 水銀ランプ |
| 巻き戻し折りエラー: | ±0.1mm | 乾燥タイプ: | IR乾燥 |
| ハイライト: | 産業用エキシマーレーザー加工システム 柔軟なエキシマーレーザー生産ライン パーソナライズ可能なUVコーティングマシンパラメータ,Flexible excimer laser production line,Customizable UV coating machine parameters |
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高精度微細加工、半導体アニール、薄膜パターニングを目的とした工業用エキシマレーザー加工装置です。リアルタイム監視による自動生産ラインへの完全な統合をサポートします。このシステムは、長寿命の光学系と AI 支援プロセス制御を備えたガス封止エキシマ光源を備えています。
| パラメータ | 値の範囲（標準） | カスタマイズオプション |
|---|---|---|
| 波長 | 193nm / 248nm / 308nm | 多波長切り替え可能（カスタム） |
| 最大パルスエネルギー | 0.5～1200mJ | 最大 2000 mJ (カスタム) |
| パルス周波数 | 1～6000Hz | 最大 10 kHz (カスタム) |
| 平均電力 | 5～300W | カスタムスケーリングが利用可能 |
| ビームサイズ（出口） | 10×10mm | 長方形ビーム 最大 50×50 mm (カスタム) |
| ビームの均一性 | < ±3% (σ) | < ±1% (カスタム光学系) |
| 生産ラインの統合 | SMEMA / SECS/GEM | カスタム PLC プロトコル (カスタム) |
私たちは提供します完全なカスタマイズ波長選択、パルスエネルギー、走査フィールドサイズ、ガス混合物、冷却方法（空気/水/チラー）、生産ライン通信プロトコルなど。ご要望に応じて、カスタマイズされたビーム送達アームとクラス 1 エンクロージャも利用可能です。
コンタクトパーソン: Mr. Zhang guoxin
電話番号: +86 13926890692
ファックス: 86-769-88120350
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