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詳細情報 |
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| インバーターブランド: | シュナイダー | パッキング: | 標準的な木製ケース |
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| 給餌方法: | 下側 選択可能 | ワーキングステーション: | 24 |
| 最大製品幅: | 500mm | バージョン: | 2.0 |
| 寸法: | 顧客の要求として | 頻度ブランド: | シリンまたはシュナイダー |
製品の説明
24ステーションスピンコーターバリアコーティング |半導体ラインのエッジビード低減と汚染防止
これ24ステーションスピンコーターバリアコーティングを形成するように定式化されています犠牲または永久絶縁層メインコーティング（フォトレジスト、ポリイミド、または誘電体）の前に基板上に塗布します。相互汚染を防ぎ、エッジビードの形成を減らし、スピンチャックを溶剤の攻撃から保護します。カスタマイズ可能な固形分、溶媒系、ストリッピング方法さまざまなウェーハ サイズ (2 インチ ～ 12 インチ) およびデバイス層に利用可能です。
技術的パラメータ
| パラメータ | 値/範囲 |
|---|---|
| 固形コンテンツ | 2% - 25% (カスタマイズ可能) |
| 粘度 (cP @25°C) | 3～150（調整可能） |
| 密度 (g/cm3) | 0.85～1.10 |
| スピン速度範囲 | 500～6000rpm（24局同期） |
| 膜厚（スピン後） | 0.1～5.0μm（可変） |
| 乾燥温度 | 80～200℃（ホットプレートまたはオーブン） |
| 乾燥時間 | 30～180秒 |
| 金属イオン含有量（Na、K、Fe） | 各 < 10 ppb (高純度グレード) |
| パーティクル数（≧0.2μm） | < 30 / mL |
| 剥離方法 | 溶剤ストリップ (NMP、PGMEA) または熱分解 |
アプリケーション
- 半導体ウエハ加工(フロントエンドとバックエンド)
- MEMSおよびセンサーの製造
- 化合物半導体（GaN、SiC）スピンコーティング
- LED蛍光体と保護層
- 24 ポジション機能を備えた研究開発用スピンコーター
- カスタム基板(ガラス、サファイア、金属、ポリマーフィルム)
カスタマイズ
24 ステーションのスピンコーターの完全なカスタマイズを提供します。
- 溶剤系(PGMEA、シクロヘキサノン、アニソール、水系)
- 剥離方法(ウェットストリップ、アッシング、またはリーブオンパーマネント)
- エッジビード低減効果(後退接触角をカスタマイズ可能)
- ウェハサイズの互換性(2インチ、4インチ、6インチ、8インチ、12インチ)
- バッチ量500mL（研究開発）から20L（生産）まで
- 低メタル＆低パーティクル顧客の仕様ごとに利用可能なグレード
特徴
- ✅ スピンチャックやカバーカップのレジスト汚染を防ぎます。
- ✅ エッジビードの高さを 60 ～ 80% 削減します。
- ✅ 自動分注およびEBRシステムと互換性があります
- ✅ 適切に剥離した後、コーティング後の残留物が残らない
- ✅ 200℃までの耐熱性（ガス放出なし）
- ✅ 低い欠陥密度 (<0.05 欠陥/cm²)
- ✅ として使用できます犠牲層リフトオフプロセス用
サポートとサービス
- プロセスの最適化24 ステーションのスピンコーター用 (速度/加速/ランピング)
- 無料残留試験ウェーハのタイプに応じて
- オンサイトまたはリモートのインストール サポート
- カスタムフォーミュラの開発15営業日以内
- 製品安全データシート (SDS)+加工ガイド
- 年中無休のテクニカルサポート生産ライン用
梱包と発送
- 標準パッキン：1L、4L、20L HDPEボトル（二重袋）
- カスタムパッキング: 自動分注用の 200L ドラム、1000L IBC、または密閉シリンジ カートリッジ
- 配送: クリーンルーム対応、クラス 3 可燃性 (溶剤系の場合) または非危険物 (水系)
- リードタイム: 在庫の場合は5日、カスタムバッチの場合は12〜18日
- ストレージ: 元の密封容器内で 15 ～ 25°C で 6 ～ 12 ヶ月
よくある質問
Q1: このバリア コーティングは、24 ステーションのすべてのスピン コーターで使用できますか?
A: はい。液体はカスタマイズ可能なさまざまなノズル タイプ (静的、リニア スキャン、スプレー) およびスピン チャック設計 (真空または機械) に対応します。最適化のためにコーター モデルを提供します。
Q2: 永久的なものですか、それとも取り外し可能なものですか?
A: 両方です。標準バージョンは剥離可能（溶剤または灰）。永久バージョンは保護層用途に利用可能です。
Q3: フォトレジストの接着に影響しますか?
A: いいえ。バリア コーティングは、完全に除去されるか、表面エネルギーが一致するように設計されています。密着性試験も可能です。
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